潔凈度的提高和維持是半導體器件潔凈廠房空調系統設計和運行的重要任務,這一任務的完成要依賴很高的送風量,是以高能耗為代價的。就送風量而言一般辦公大樓換氣次數為10次/h左右,而大規模半導件器件潔凈廠房內,為了滿足相應的潔凈度要求,需要保證很高的換氣次數,致使循環風量非常大。100級潔凈室的換氣次數可選到200次/h,1000級潔凈室的換氣次數日選到40次/h,10000級潔凈室的換氣次數也要30次/h。導致潔凈廠房裝修空調系統耗能高的原因主要取決與幾大因素:
新風負荷大,在電子廠房中,某些車間散發出有害氣體,需要通過排風加以消除,這就加大了系統的新風量。潔凈室的各類制冷負荷中,最重要的有新風、風機溫升和設備散熱3項,而尤以新風最大。根據有關部門統計,新風負荷可以從20%~70%,風機溫升從8%~20%多,工藝設備可以從16%~50%。潔凈室內平均所需新風量在45~60m㎡/(m.n㎡),新風冷負荷比室內顯熱冷負荷還要大約近1倍。
風機全壓高,由于凈化空調中過濾器很多,其中僅高效過濾器的初阻力就在200Pa以上,終阻力在400Pa以上:而要求高的車間ULPA的阻力會更大。其新風要求三級過濾,再加上化學過濾器,新風機組的風壓要求在2500Pa左右。這些都會致使所用風機靜壓很高,導致風機耗能增加。